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超聲波干式除塵機(jī)
應(yīng)用范圍

適用于電池涂布、半導(dǎo)體器件和玻璃基板的除塵。

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

干式非接觸除塵的方式，避免污染或損傷材料表面

超聲波除塵頭無(wú)需維護(hù)，只需維護(hù)風(fēng)機(jī)及更換濾芯

相比傳統(tǒng)非接觸式風(fēng)刀除塵，能去除6um以下塵粒

科學(xué)設(shè)計(jì)的封閉循環(huán)系統(tǒng)，不會(huì)污染潔凈室

主要參數(shù)
腔體壓力
4-5KPa
負(fù)壓口壓力
-4~-1KPa
工作距離
5mm以內(nèi)，1.5mm最佳
使用環(huán)境
萬(wàn)級(jí)以下干燥無(wú)塵車間
功率
7.5KW/11.5KW
電源
380V，50/60HZ
處理風(fēng)量
>600m3/h
過(guò)濾效率
99%，0.3um精度
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