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系統(tǒng)內(nèi)無金屬污染，配置微型環(huán)境（FFU）封裝設(shè)計(jì)

滿足掃描過程的Class2（100級）清潔度要求

支持高精掃描、快速掃描

可定制晶圓載具

可選配雙探頭