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適用于6、8、12寸晶圓鍵合檢測

Loadport可以與標(biāo)準(zhǔn)Cassette等方式對接

晶圓專用Robot實(shí)現(xiàn)取樣、條形碼讀取、樣品放入

四探頭協(xié)同晶圓快速超掃檢測

Aligner晶圓標(biāo)定、尋邊

晶圓吹干干燥、放回原樣品槽

掃描結(jié)果自動(dòng)合并、圖像處理、缺陷顯示、數(shù)據(jù)記錄

具備晶圓工廠標(biāo)準(zhǔn)通訊軟件，可與其他生產(chǎn)設(shè)備協(xié)同