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離線式晶圓超聲掃描顯微鏡
應(yīng)用范圍

6、8、12寸晶圓鍵合檢測(cè)

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

系統(tǒng)內(nèi)無(wú)金屬污染，配置微型環(huán)境（FFU）封裝設(shè)計(jì)

滿足掃描過(guò)程的Class2（100級(jí)）清潔度要求

支持高精掃描、快速掃描

可定制晶圓載具

可選配雙探頭

主要參數(shù)
外形尺寸
1200㎜(L)×1000㎜(W)×2000㎜(H)
探頭配置
單探頭
圖像分辨率
1~4000μm
超聲發(fā)射接收帶寬
1-500MHz
掃描模式
高精掃描、快速掃描（隔行差值掃描）
三軸平臺(tái)
大理石平臺(tái)
XY軸
直線電機(jī)、龍門(mén)雙驅(qū)
治具
晶圓專(zhuān)用載具
上下料
手動(dòng)放置
潔凈度
百級(jí)
推薦產(chǎn)品

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