英文
400-888-0829
半自動晶圓超聲掃描顯微鏡
應用范圍
6、8、12寸晶圓鍵合檢測
設備優(yōu)勢
系統(tǒng)內無金屬污染，配置微型環(huán)境（FFU）封裝設計
滿足掃描過程的Class2（100級）清潔度要求
配置晶圓自動入水機構
左右雙探頭同時掃描，提示掃描效率
整體有效掃描范圍：420mm×320mm
可依據(jù)晶圓尺寸定制晶圓專用載臺
主要參數(shù)
外形尺寸
1200㎜(L)×1500㎜(W)×2000㎜(H)
探頭配置
雙探頭，分工位掃描
圖像分辨率
1~4000μm
超聲發(fā)射接收帶寬
1-500MHz
掃描模式
高精掃描、快速掃描（隔行差值掃描）
三軸平臺
大理石平臺
XY軸
直線電機、龍門雙驅
治具
晶圓專用載具
上下料
半自動，傾斜出入水
潔凈度
百級
滬公網安備 31011202013830號